近日，肖特集團(tuán)，Inkron公司，EV集團(tuán)（EVG）和光波導(dǎo)元件廠商波光（WaveOptics）在2020美國西部光電展上展示了全球首個在玻璃基板上制成的折射率為1.9、結(jié)合納米樹脂結(jié)構(gòu)的波導(dǎo)片。該波導(dǎo)片的生產(chǎn)基于一個300mm晶圓上完成，此晶圓現(xiàn)已可批量生產(chǎn)。

圖片來自EVG

德國肖特現(xiàn)推出折射率為1.9，直徑為300 mm的肖特RealView™高折射率玻璃晶圓。 此晶圓的批量生產(chǎn)為下一代AR波導(dǎo)片的量產(chǎn)提供了基礎(chǔ)，在保證AR所需的極高精度標(biāo)準(zhǔn)的同時(shí)，單位成本更低。納米技術(shù)公司Inkron所生產(chǎn)的樹脂折射率為1.9，憑借全集成和體量驗(yàn)證的EVG HERCULES® NIL納米壓印工藝平臺，該樹脂可在單個300 mm SCHOTT RealView™1. 9晶圓上壓印多達(dá)24個波導(dǎo)片。此產(chǎn)品融合了高性能波導(dǎo)光學(xué)設(shè)計(jì)公司W(wǎng)aveOptics提供的先進(jìn)的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)，肖特的專業(yè)光學(xué)玻璃制造經(jīng)驗(yàn)，Inkron的創(chuàng)新樹脂配方與EVG的標(biāo)準(zhǔn)納米壓印工藝（NIL）。

在美國舊金山，2月1日至6日期間舉辦的2020美國西部光電展，肖特及其合作伙伴將會在展會上展示RealView™高折射率玻璃晶圓 ——肖特（841號展位），Inkron（5279號展位）和WaveOptics（演示廳8號展位）。

圖片來自肖特

肖特RealView™高折射玻璃晶圓系列適用于增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）和混合現(xiàn)實(shí)（MR）設(shè)備：300mm晶圓可提供高達(dá)65°的廣闊視野，配有1.9折射率更實(shí)現(xiàn)了沉浸感極高的用戶體驗(yàn)。

更大尺寸的晶圓，1.9的高折射率，可與光學(xué)樹脂結(jié)合

 “市場對與高折射樹脂相結(jié)合的高折射玻璃一直都有很高的需求。肖特?cái)y手合作伙伴Inkron再一次為先進(jìn)波導(dǎo)的基礎(chǔ)設(shè)備提供了最先進(jìn)的解決方案。” 肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)領(lǐng)導(dǎo)人Ruediger Sprengard博士說。“最新一代的肖特 RealView™ 光學(xué)玻璃性能可以與高折射樹脂相結(jié)合，并能滿足EVG 的NIL工藝實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)的要求，我們已經(jīng)可以開始下一代視場波導(dǎo)片的制造了。”

在2020美國西部光電展上，各公司將首次公開展示為大規(guī)模生產(chǎn)寬視場角設(shè)備所做出的努力。高折射率玻璃和樹脂的這種新組合在300mm晶圓上的應(yīng)用并證明了300mm玻璃與樹脂的兼容性，為低成本的AR波導(dǎo)制造系統(tǒng)奠定了基礎(chǔ)。

消費(fèi)級AR設(shè)備之路的下一個里程碑

 “與合作伙伴Inkron和EVG聯(lián)手，這標(biāo)志著我們朝著滿足消費(fèi)者市場方向邁出了重要一步。一方面，我們用性能卓越的產(chǎn)品對AR玻璃晶圓進(jìn)行不斷創(chuàng)新。“肖特AR創(chuàng)新經(jīng)理Frederik Bachhuber博士說： “另一方面，我們與強(qiáng)大的伙伴合作，為這些零件賦予了 “光學(xué)生命” ，而且馬上可實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)！”

在EVG的NIL光子學(xué)技術(shù)中心，便使用其專門的晶圓加工設(shè)備制造演示器。該演示器中包括EVG最近推出的HERCULES®NIL 300 mm全模塊化和具有SmartNIL® 技術(shù)的集成式UV-NIL系統(tǒng)，可在直徑最大為300 mm的基板上復(fù)制結(jié)構(gòu)。Inkron的高RI樹脂IOC-133具有高折射率（1.9）、出色的可加工性和光學(xué)性能。這些材料特征與肖特 RealView™基板以及EVG的專業(yè)工藝相結(jié)合，為WaveOptics的波導(dǎo)設(shè)計(jì)奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

WaveOptics是衍射波導(dǎo)的領(lǐng)先設(shè)計(jì)者和制造商，它提供的波導(dǎo)技術(shù)平臺具有最寬的視場范圍（對角線在15°和60°之間），以及最大尺寸的眼罩，可定制以滿足客戶的各種需求。肖特也為業(yè)界提供最廣泛的產(chǎn)品組合，從直徑為100,150, 200，到300mm的晶圓，可分別實(shí)現(xiàn)從1.5到1.9不等的折射率。

值得一提的是，肖特的RealView™玻璃晶圓被國際信息顯示協(xié)會（SID） 評為2019年顯示行業(yè)年度最佳顯示組件獎。